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HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測(cè)的高級(jí)氣體監(jiān)測(cè)儀簡(jiǎn)介

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品品牌

HORIBA堀場(chǎng)

產(chǎn)品類型

質(zhì)量流量計(jì)/控制器

可售賣地

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價(jià)格區(qū)間

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供貨總量

面議

售后服務(wù)

完善

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

IR-400 可在沉積過(guò)程中實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)腔室清洗終點(diǎn)。通過(guò)優(yōu)化清洗過(guò)程，IR-400 減少了清洗時(shí)間和氣體用量。清洗氣體用量減少會(huì)降低對(duì)腔室的損害，并增加所有系統(tǒng)部件的壽命。多氣體監(jiān)測(cè)（支持 SiF4 和 CF4） (IR-422) 高靈敏度氣室加熱功能最高可達(dá) 180℃ 多重顯示模擬/數(shù)字通信

HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測(cè)的高級(jí)氣體監(jiān)測(cè)儀詳情介紹

功能/特點(diǎn)：
IR-400 實(shí)時(shí)終點(diǎn)監(jiān)測(cè)的優(yōu)勢(shì)
減少腔室清洗時(shí)間
減少清洗氣體使用量
可重復(fù)和可預(yù)測(cè)的清洗過(guò)程
延長(zhǎng)腔室組件壽命

HORIBA IR-400 用于腔室清洗終點(diǎn)監(jiān)測(cè)的高級(jí)氣體監(jiān)測(cè)儀產(chǎn)品規(guī)格

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