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HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統(tǒng) 簡介
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)品品牌
HORIBA堀場
產(chǎn)品類型
質(zhì)量流量計/控制器
可售賣地
面議
價格區(qū)間
面議
供貨總量
面議
售后服務
完善
產(chǎn)品簡介
GR-300 系列可以控制用于冷卻晶圓背面的氣體，晶圓通過靜電卡盤系統(tǒng)固定到位。
GR-300 系列的穩(wěn)定性和精確性使其成為控制晶圓冷卻系統(tǒng)中氦氣和氬氣流量的理想選擇。
HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統(tǒng)(GR312F) 介紹
型號：GR312F
壓力控制范圍：1-100%
壓力：13.33KPA(100Torr)
壓力精度：±0.5%FS
壓力輸出：0-10VDC
電源：±15VDC
壓力控制范圍：1-100%
壓力：13.33KPA(100Torr)
壓力精度：±0.5%FS
壓力輸出：0-10VDC
電源：±15VDC
HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統(tǒng) 詳情介紹
優(yōu)點：
壓力控制更加穩(wěn)定和精確
即使壓差非常低，也使用高精度壓電閥來控制壓力。安裝了一個高精度的壓力傳感器，用于測量<1%F.S范圍內(nèi)的出口壓力。
質(zhì)量流量傳感器（可選）
通過應用HORIBA STEC 質(zhì)量流量產(chǎn)品中成熟的流體控制技術，該產(chǎn)品能夠?qū)崿F(xiàn)微小的差壓控制，并添加氣體流量監(jiān)測（帶質(zhì)量流量傳感器）以實現(xiàn)自診斷功能。
符合 RoHS 標準
GR-300系列使用不破壞環(huán)境且符合最新RoHS法規(guī)的零件
HORIBA GR-300 系列 晶圓背面冷卻系統(tǒng)產(chǎn)品規(guī)格
關于進佳儀器
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