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HORIBA GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng) 簡介

產品參數(shù)

產品品牌

HORIBA堀場

產品類型

質量流量計/控制器

可售賣地

面議

價格區(qū)間

面議

供貨總量

面議

售后服務

完善

產品簡介

GR-300 系列可以控制用于冷卻晶圓背面的氣體，晶圓通過靜電卡盤系統(tǒng)固定到位。 GR-300 系列的穩(wěn)定性和精確性使其成為控制晶圓冷卻系統(tǒng)中氦氣和氬氣流量的理想選擇。

型號：GR314
壓力控制范圍：1-100%
壓力：13.33KPA(100Torr)
壓力精度：±0.5%FS
壓力輸出：0-100%
電源：24VDC

優(yōu)點：
壓力控制更加穩(wěn)定和精確

即使壓差非常低，也使用高精度壓電閥來控制壓力。安裝了一個高精度的壓力傳感器，用于測量<1%F.S范圍內的出口壓力。

質量流量傳感器（可選）

通過應用HORIBA STEC 質量流量產品中成熟的流體控制技術，該產品能夠實現(xiàn)微小的差壓控制，并添加氣體流量監(jiān)測（帶質量流量傳感器）以實現(xiàn)自診斷功能。

符合 RoHS 標準

GR-300系列使用不破壞環(huán)境且符合最新RoHS法規(guī)的零件

HORIBA GR-300 系列晶圓背面冷卻系統(tǒng)參數(shù)

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