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日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100 簡介

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品品牌

HORIBA堀場(chǎng)

產(chǎn)品類型

質(zhì)量流量計(jì)/控制器

可售賣地

面議

價(jià)格區(qū)間

面議

供貨總量

面議

售后服務(wù)

完善

產(chǎn)品簡介

HORIBA質(zhì)量流量控制器SEC-N100主要針對(duì)非芯片半導(dǎo)體制程而開發(fā),同半導(dǎo)體制程一樣，非芯片半導(dǎo)體工藝也已經(jīng)形成相對(duì)統(tǒng)一的制造標(biāo)準(zhǔn)， SEC-N100 系列產(chǎn)品能夠滿足廣大客戶對(duì)不同制程規(guī)范的要求。

日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100(SEC-N117MGM) 介紹

型號(hào):SEC-N117MGM
精度:±1.0% S.P.(Flow rate>25% F.S.) ±0.25% F.S.(Flow rate≤25%F.S.)
量程:10SLM
輸出:EtherCAT

日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100 詳情介紹

SEC-N100質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特性:

數(shù)字式/ 模擬式通信：RS-485/DeviceNet/Profibus/模擬式（電流/電壓），可與其它系列產(chǎn)品兼容
復(fù)合氣體 / 復(fù)合量程：可以方便的在客戶端更改對(duì)應(yīng)氣體和量程
高精度控制： ±1.0% 設(shè)定流量：選用與SEC-Z500系列相同的sensor和bypass.
快速響應(yīng)：在可控流量范圍內(nèi),響應(yīng)時(shí)間≦1 sec，內(nèi)置PID參數(shù)，可以調(diào)整響應(yīng)時(shí)間
氣閥種類：電磁閥 (~50SLM)，壓電陶瓷閥 (100/200SLM)
密封圈材質(zhì) ：橡膠或金屬
氣路表面：未經(jīng)拋光處理
接口：僅有VCR接口
RoHS要求：滿足RoHS要求

日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100產(chǎn)品規(guī)格

日本HORIBA堀場(chǎng)質(zhì)量流量控制器SEC-N100參數(shù)

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